涡流末端执行器可处理各种类型的晶圆，包括薄晶圆。晶圆与末端执行器之间只有边缘有接触，夹具的最小气流要求和我们的边缘软接触(Soft Touch)功能明显区分于其他晶圆处理产品。 通过集成我们的软触摸机构，末端执行器克服了与薄晶圆处理有关的任何潜在问题，如侧面移位或旋转，同时保持对晶圆边缘抓取力的严格控制。
集成在末端执行器的光学位置传感器，允许机器人精确地在正确的时间激活软触摸机构。抓紧机构使机器人知道是否抓取成功，并且可以报告晶圆的实际直径以提高放置精度。
可处理直径为2"、4"、5"、6"、8"和12"，厚度为500微米到800微米的晶圆
适用于圆形，正方形和矩形形状的衬底或载体
最大8mm翘曲
顶部靠近
底部靠近
边缘夹持，中央定心
尖头固定（1轴)
自定心（2轴）
FOUP, cassette, boat
超薄的刀口，适用于小间距
高温
潮湿
化学冒烟
| 规格 | 200mm | 300mm |
|---|---|---|
| 晶圆厚度 | 50 µm -800 µm | 50 µm -800 µm |
| 晶圆与末端执行器的距离 | ~100 µm | ~100 µm |
| 电源 | 12/24V, 350mV | 12/24V, 350mV |
| 压缩空气 | 60 PSI | 60 PSI |
| 控制 | ASCII command string 或 digital I/O | ASCII command string 或 digital I/O |
| 接口 | I/O (6线), RS232, RS485或CAN | I/O (6线), RS232, RS485或CAN |