预对准器（真空型）

这款真空夹持预对准器以高于普通同类产品的速度对中并找凹槽或平边。它有两个型号：一种设计用于与4轴SCARA或6轴机器人（即时定心）配合使用；另一种可独立工作，与三轴r-θ机器人和本公司的专有边缘夹具配合用于定心。两种型号对准时间快，仅需约2秒的时间。预对准器可以通过软件驱动（无转换）或手动模式（5分钟转换时间）来处理50至300mm晶圆。它可以自动识别标准或透明晶圆上的凹槽、平边和双层平边。

可选功能有刀片式末端执行器的提升销、超薄和翘曲晶圆的定位、 高精度晶圆对准（5μm）和晶圆之间的对准。我们还提供手动进给的对准器和ID读取器，用于非生产与实验室使用。