边缘夹持末端执行器

末端执行器采用传感器控制的软接触机械装置 (SoftTouch Mechanism)，在晶圆抓取的过程，末端执行器和晶圆之间的接触为轻柔接触。夹持器尖端和晶圆边缘之间的微小接触将信号发送到设备控制机构，该装置控制机构又计算并应用适当的夹持力。夹持力可控、恒定。不管晶圆的直径误差为多少，这个装置都能保证晶圆抓取的稳定和安全，亦避免污染颗粒的产生。

可编程的夹持力特征使得夹爪能够达到期望的夹紧力，通过其闭环反馈，该机构可以在保持晶圆平稳且牢固的同时防止晶圆应力。通过允许优化夹持力同时考虑诸如机器人速度和晶圆刚度之类的变量，此功能有助于实现更高的产量。

可旋转的末端，可用于狭窄空间。适用于厚晶圆置于FOUP和标准片盒的设计。