传感器

我们的晶圆映射传感器可以高效且可靠地检测cassette或FOUP中的插槽错误。 该传感器可以检测任何重片、空缺、交叉和晶片错位的状态。它可以处理各种晶圆，无论晶圆涂层、形状和厚度如何。并且它在检测低反射率晶圆、透明晶圆和薄翘曲晶圆时优于大多数传感器。传感器不受环境光影响，能保持高度稳定的检测性能。它是一个即插即用模块，与市面上大多数品牌可兼容。

大多数传感器是独立产品，也可以与边缘或真空末端执行器集成，非常适合在有限的空间内工作。