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Wafer Aligner
晶圆边缘预对准器 Wafer Aligner

Wafer-Handling.com 的高智能对准器是一高性能晶圆对准解决方案,可实现 ± 25 µm(径向)和 ± 0.02°(角度)的重复性。适用于易碎晶圆的安全对准器,具有 SoftTouch 可编程夹持力。对齐薄的、厚的、扭曲的、透明的、半透明的、穿孔的、太鼓晶圆。

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End Effector
涡流末端执行器 Vortex End Effector

伯努利涡流机器人智能夹爪 (Bernoulli Vortex End Effector), 通过尖端部件设计和气流控制技术实现对晶圆的非接触式夹持; 适用于 4”~ 12”, 薄, 厚, 翘曲, Taiko 不透明/透明, 穿孔, 平面/缺口,脆弱晶圆. 应用软接触(SoftTouch)机制意味着夹持尖端不会射向晶圆,而是轻轻地接触晶圆边缘。可选翻转功能,适用于任何机器人。

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Wafer ID OCR Reader
晶圆ID读取器 Wafer ID Reader

市场领先的 IOSS 晶圆 ID 读取器,无缝集成我们的对准器,可在 Datamatrix、OCR 和条形码中提供智能光学 ID 捕获,适用于各种基材尺寸、材料/涂层、凹口或扁平基材.

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FOUP Loadport
FOUP Loadport

· 支持 FOUP/FOSB/cassette.
· 支持 8/12 英寸晶圆
· 支持 E84/RFID/Mapping

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Tilt station
宏观检测 Macro Inspeciton Station

这款 8 英寸晶圆倾斜旋转站专为特殊晶圆(薄且翘曲的晶圆或厚键合晶圆)而设计,它仅在禁区抓取以自由旋转和 245° 倾斜。它可以是独立的视觉宏检测和/或通过简单的 TCP/IP 通信集成到您的检测系统的子系统。

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OM Loader
显微镜检测 Microscope OM Loader

· 6/8 英寸晶圆
· 晶圆正面, 背面和边缘宏观检查和对准
· 可为大多数型号的显微镜定制
· 正面, 背面晶圆 ID 读取

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我们专精处理易碎晶圆.........

选择 Wafer-handling.com 的原因是当您需要一种能够 100% 防止晶圆破损、碎裂和污染的传输对准时。从薄翘曲晶圆、复合晶圆 (碳化硅、氮化镓v砷化镓) 到 MEMS 穿孔晶圆,我们提供接触式或非接触式处理工具,满足您的特殊需求...

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应用

demo Edge grip end effector
可编程夹持力、 中心對位晶圆、 由晶圆正面取放

demo Bernoulli end effector
为薄晶圆或穿孔晶圆提供卓越的非接触式传输,应用包括晶圆包装机

demo Absolute ecode flipper
可选翻转功能,适用于任何机器人,
±270°旋转,TCP/IP通讯

demo High precision edge grip aligner
高精度边缘夹持对准器最适合检测应用,可选Buffer快速交换,提高效率
Wafer gripper with built-in mapper Built-in mapper
抓手内置对射式测 Mapper 检测料盒中的晶圆
demo Thin Wafer Macro Inspection
仅在边缘抓取薄翘曲晶圆以自由旋转 (free rotation) 和 245° 倾斜
demo FOUP loadport
支持 FOUP/FOSB/cassette
支持 8/12 英寸晶圆
demo 重力对准器
无应力非接触式对准,非常适合 碳化硅 或其他易碎晶圆

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