预对准器（边缘夹持）

我们的IEG型预对准器提供功能强大、即插即用的解决方案，可在3秒钟内完成高精度晶圆对准。 预对准器结合了我们创新的边缘夹具的特点，大大地缩短了整个周期的时间。具有可编程夹持力的预对准器的软触摸机构使夹持头能够轻轻地触摸晶圆, 防止晶圆应力和颗粒的产生。无论晶圆的尺寸和厚度偏差如何，它都能保持稳定，并保持恒定的优化夹紧力，从而帮助您实现更高的产量。

IEG预对准器具有边缘抓取自动定心功能，可靠性更高，并有助于最大程度地减少与晶圆移位和摩擦相关的颗粒产生。 与所有的晶圆处理产品一样，预对准器已被证明绝对没有背面污染。 产品配有带图形的用户界面，提供简单快速的设置和修改，并与大多数操作系统和硬件平台兼容。RS-232，RS-485或以太网端口，允许独立和联网的操作。