随着半导体世界追求下一代产品的新工艺技术, 它给制造车间的晶圆处理带来了极大的困难和复杂性。
Wafer-handling.com 是一家位于硅谷的公司,其成立是为了满足今天和明天的需求 晶圆处理需求。 Wafer-handling.com 拥有 20 年开发经验 用于机器人自动化的智能晶圆处理机,为全球自动化公司和半导体提供服务 OEM 设备制造商和晶圆厂。
我们的专长在于处理易碎和特殊的晶圆;所有组件均在内部制造 轻松适应客户的需求。我们开发了全系列非接触式(仅限禁区接触式)薄晶圆系列 适用于 4"~12" 凹口或扁平、不透明、半透明或透明、薄、翘曲或 Taiko 晶圆的处理解决方案。
我们提供与市场上大多数机器人兼容的标准即插即用和定制产品。 每个产品都设计了精密的传感器,可以防止晶圆破损和边缘碎裂。 我们的 SoftTouch 机制具有可编程夹持力,使夹持尖端能够轻轻接触晶圆。
EVENT | BOOTH# | CO-EXiHIBIT |
---|---|---|
Semicon Taiwan, 2024 | R7522 | Wonder Automation Inc. |
这种涡流型组件是非接触式的:压缩空气到达与圆周相切的涡流杯,并在涡流杯的中心产生一个非常低压的区域。 低压产生类似于真空吸盘的升力,但同时空气需要一个空间逸出,并在晶圆和吸盘边缘之间产生间隙。排出的层流气流可防止晶圆接触夹持末端执行器/预对准器,同时杯中心的低压将晶圆固定到位。
夹具尖端和晶圆边缘之间最轻微的接触都会向设备的控制机构发送信号,控制机构进而计算并应用适用的预编程夹持力。无论晶圆直径偏差如何,此功能都可以防止颗粒生成,并以恒定的夹持力实现安全固定。