·支持FOUP/FOSB/Cassette。
· 适用于8英寸和12英寸晶圆。
· 通讯:RS458、以太网
· 检测单个插槽中是否存在两个晶圆。
· 也提供SMIF Loadport。
IOSS WID 120 晶圆 ID 读取器可解码不透明、半透明或透明、薄、翘曲或 Taiko 晶圆上的所有类型的 OCR、条形码、数据矩阵码和 QR 码。
· 革命性的集成 RGB 照明
· 全自动曝光控制、额外的外部 RGB 光源
· 阅读速度快、精准微调
· 智能配置处理、码移补偿
右图:与6英寸重力对准器配合使用,读取碳化硅(SiC)晶圆的正面和背面ID
这款 8 英寸晶圆倾斜旋转站专为特殊晶圆(薄且翘曲的晶圆或厚键合晶圆)而设计,它仅在晶圆无效区抓取以自由旋转(Free Rotation)和 245° 倾斜。它可以是独立的视觉宏观检测和/或通过简单的 TCP/IP 通信集成到您的检测系统的子系统。
· 8” 晶圆 50~1600um 厚度、薄且翘曲、玻璃或穿孔晶圆
· 仅有的接触无效区内 (2mm Exclusion Zone)
· 符合人体工程学的控制面板,带操纵杆
· 自动返回原位并进行背面飞行
· 可配合市面上显微镜型号使用
· 晶圆正面检测(旋转、上下左右倾斜、翻转)
· 晶圆边缘检测(旋转)
· 晶圆背面检测:抓边、无遮挡